张磊, 褚良银, 汪伟, 谢锐, 巨晓洁, 刘壮. “以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法”. 中国发明专利201410416124.8, 专利申请日2014.8.21, 授权公告日2015.10.7.
发布时间:2022-04-11
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